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液態(tài)氮氣深冷分離法工藝已經(jīng)歷了 100 多年的發(fā)展,，先后經(jīng)歷了高壓,、高低壓、中壓和全低壓流程等多種不同的工藝流程,。隨著現(xiàn)代空分工藝技術(shù)和設(shè)備的發(fā)展,，高壓、高低壓,、中壓空分流程已基本被淘汰,，能耗更低、生產(chǎn)更安全的全低壓流程已成為大中型低溫空分裝置,。全低壓空分工藝根據(jù)氧氮產(chǎn)品壓縮環(huán)節(jié)不同,，又分為外壓縮流程和內(nèi)壓縮流程。全低壓外壓縮流程生產(chǎn)出低壓氧氣或氮氣,，然后經(jīng)外置的壓縮機將產(chǎn)品氣體壓縮至所需壓力供給用戶,。全低壓內(nèi)壓縮流程將精餾產(chǎn)生的液態(tài)氧或液態(tài)氮在冷箱內(nèi)通過液體泵加壓至用戶所需壓力后汽化，并在主換熱器內(nèi)復熱后供給用戶,。主要工藝過程為原料空氣過濾,、壓縮、冷卻,、純化,、增壓、膨脹,、精餾,、分離、復熱,、外供,。