氣體的應(yīng)用范圍
莆田氣體產(chǎn)品作為現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料,,應(yīng)用范圍十分廣泛,在冶金,、鋼鐵,、石油、化工,、機械,、電子、玻璃,、陶瓷,、建材、建筑,、食品加工,、醫(yī)藥醫(yī)療等部門,均使用大量的常用氣體或特種氣體,。氣體的應(yīng)用,,特別對這些領(lǐng)域的高新技術(shù)有重要的影響,是其不可缺少的原料氣或工藝氣,。也只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動,,氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種,、質(zhì)量和數(shù)量等方面得到飛躍發(fā)展。
氣體在微電子,、半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用
氣體的使用在半導(dǎo)體制程中一直扮演著重要的角色,,特別是半導(dǎo)體制程目前已被廣泛的應(yīng)用于各項產(chǎn)業(yè),凡舉傳統(tǒng)的ULSI,、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機電(MEMS)產(chǎn)業(yè),,皆以所謂的半導(dǎo)體制程為產(chǎn)品的制造流程,其中的制程包括如干蝕刻,、氧化,、離子布植、薄膜沉積等皆使用到相當(dāng)多的氣體,,而氣體的純度則對組件性能,、產(chǎn)品良率有著決定性的影響,氣體供應(yīng)的則關(guān)乎人員的健康與工廠運作,。
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